제품 소개
고압·고유량 초고순도 레귤레이터
고압 시스템 배관 라인에서 대유량이 요구되는 조건에 최적화된 초고순도 가스 레귤레이터
Cv 1.0 및 Cv 2.2 고유량 옵션
기본 Cv 1.0 사양과 함께 옵션으로 Cv 2.2까지 선택할 수 있어 기존 고압 1/2", 3/4" Size 배관의 고유량 대응
주요 특징
타이드 다이아프램 기술 적용
포펫과 다이아프램을 고정하는 Tied Type 구조를 채택하여 정밀한 압력 제어와 높은 안전성 제공
국제 특허 내부 구조 적용
세계 유일의 독보적인 내부 구조 국제특허 기술을 적용하여 유체 노출부에 나사 트랩 및 추가 가공 홀을 배제했으며, 오염물 누적 방지 및 퍼지(Purge) 작업의 효율성 극대화
사양 (Specification)
| MAXIMUM INLET PRESSURE | 3500 psig / 2400 psig |
|---|---|
| OUTLET OPTIONS | 1 ~ 250 psig (구간선정) |
| FLOW CAPACITY | Cv = 1.0 (Standard), Cv = 2.2 (Optional) |
| DESIGN PROOF PRESSURE | 150% of maximum rated pressure |
| INBOARD LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec He |
| INTERNAL SURFACE FINISH | 10Ra (0.25 μm) E.P. Standard / 10Ra B.A., 5Ra (0.13 μm) E.P. Optional |
| OPERATING TEMPERATURE | PCTFE: -40 ~ 71 ℃ / PTFE: -73 ~ 71 ℃ / Vespel: -40 ~ 260 ℃ |
| BODY MATERIAL | 316L Stainless Steel (E.P. Standard) |
| DIAPHRAGM MATERIAL | 316L Stainless Steel or Hastelloy C-22 |
| SEAT MATERIAL | PCTFE, PTFE, Vespel |
| POPPET / PLUG | 316L Stainless Steel |
| POPPET SPRING | Inconel |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
상세 정보
적용 산업 / 분야
반도체 및 디스플레이
특수 가스 대용량 공급 장치
태양광 및 석유화학 정밀 가스 라인
고청정 대형 연구 장비 및 실증 설비
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FR4 SERIES 제품 문의
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