제품 소개
초고순도 무스프링 가스 레귤레이터
유체가 흐르는 접액부 내부에 스프링과 나사 트랩을 완전히 배제하여 미세 파티클 오염 가능성을 원천 차단한 초고순도 가스 레귤레이터
TIED DIAPHRAGM 구조
포펫과 다이아프램을 고정하는 Tied Type 구조를 적용하여 포펫의 시트 끼임 현상을 방지하고 정밀한 압력 제어 및 높은 안전성 제공
주요 특징
국제 특허 독점 내부 기술
세계 유일의 독보적인 내부 구조 국제특허 기술을 구현하여 유체 노출부에 나사 트랩 및 추가 가공 홀이 없습니다. 오염물 누적을 방지하고 Purge 작업 효율성 극대화
초고순도 공정 및 장비 최적화
반도체 Gas Cabinet, Gas Jungle Box, 반도체 장비, 특수 가스 라인 및 고청정 연구실 등 엄격한 적용 요건 만족
고품질 전해연마 표면 처리
내부 표면 Ra 10 (E.P. 기본) 및 Ra 5 (E.P. 옵션)의 최고 수준 전해연마 처리
사양 (Specification)
| MAXIMUM INLET PRESSURE | 3500 psig / 240 bar |
|---|---|
| OUTLET OPTIONS | 1 ~ 250 psig (구간선정) |
| FLOW CAPACITY | Cv = 0.06 (Standard), Cv = 0.4 (Optional) |
| DESIGN PROOF PRESSURE | 150% of maximum rated pressure |
| INBOARD LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec He |
| SUPPLY PRESSURE EFFECT | 0.6 psig per 100 psig |
| INTERNAL SURFACE FINISH | 10Ra (0.25 μm) E.P. Standard / 5Ra (0.13 μm) E.P. Optional |
| OPERATING TEMPERATURE | PCTFE: -40 ~ 71 ℃ / PTFE: -73 ~ 71 ℃ / Vespel: -40 ~ 260 ℃ |
| BODY MATERIAL | 316L Stainless Steel with Electropolish |
| DIAPHRAGM MATERIAL | 316L Stainless Steel or Hastelloy C-22 |
| SEAT MATERIAL | PCTFE, PTFE, Vespel |
| POPPET / PLUG | 316L Stainless Steel |
| BONNET / STEM | 316L Stainless Steel |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
상세 정보
적용 산업 / 분야
반도체 및 디스플레이
특수 가스 제조 및 배관
고청정 연구실 및 분석 기관
태양광 및 첨단 전자소자 공정
제품 상담 / 문의
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