제품 소개
초고순도 가스 라인용 레귤레이터
Utility 라인, Bulk Gas 라인 및 Hook-up 라인을 위해 설계된 폭넓은 옵션 사양의 초고순도 가스 레귤레이터
국제 특허 내부 구조 (INTERNALLY PATENTED TECH)
세계 유일의 독보적인 내부구조 국제특허 기술을 적용하여 유체 노출부에 나사 트랩 및 추가 가공 홀을 배제, 오염물 누적을 방지하고 Purge 작업 효율성 극대화
주요 특징
무나사 노즐 및 세일 구조 (UNIQUE PATENTED BODY)
스레드 노즐, 추가 부품, 대기 노출 실링이 필요 없는 특허받은 일체형 바디 구조
100% 헬륨 리크 테스트
전 제품 100% 헬륨 리크 테스트를 거쳐 최고 수준의 신뢰성과 안전성 보장
사양 (Specification)
| MAXIMUM INLET PRESSURE | 3500 psig |
|---|---|
| OUTLET OPTIONS | 1 ~ 250 psig |
| FLOW CAPACITY | Cv = 0.06 (Standard), Cv = 0.4 (Optional) |
| DESIGN PROOF PRESSURE | 150% of maximum rated pressure |
| INBOARD LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec He |
| SUPPLY PRESSURE EFFECT | 0.6 psig per 100 psig |
| INTERNAL SURFACE FINISH | 10Ra (0.25 μm) E.P. Standard / 10Ra B.A., 5Ra (0.13 μm) E.P. Optional |
| OPERATING TEMPERATURE | PCTFE: -40 ~ 71 ℃ / PTFE: -73 ~ 71 ℃ / Vespel: -40 ~ 260 ℃ |
| BODY MATERIAL | 316L Stainless Steel (E.P Standard) |
| DIAPHRAGM MATERIAL | 316L Stainless Steel or Hastelloy C-22 |
| SEAT MATERIAL | PCTFE, PTFE, Vespel |
| POPPET / PLUG / SCREEN | 316L Stainless Steel |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
상세 정보
적용 산업 / 분야
반도체 및 디스플레이
태양광 및 LED 제조
바이오 및 제약 공정
첨단 가스 분석 및 분석 장비
제품 상담 / 문의
FR2 SERIES 제품 문의
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