제품 소개
콤팩트 사이즈 초고순도 레귤레이터
바디 지름 32mm의 초소형 크기로 고안되어 공간 제약이 있는 Process 라인, Bulk Gas 라인, Hook-up 라인 및 각종 Utility 라인에 최적화된 레귤레이터
Cv 0.3 고유량 옵션 지원
최대 Cv 0.3 고유량 옵션을 채용하여 1/2" Size 배관 라인까지 폭넓게 적용 가능
주요 특징
다양한 접속 규격 대응 (FACE SEAL / TUBE STUB)
Face Seal, Tube Stub, Compression Type 등 다양한 연결 방식을 지원하여 배관에 손쉽게 설치 가능
내장형 스크린 필터 적용
내장된 스크린 필터(Screen Filter)가 시트를 보호하여 긴 사용 수명을 보장
사양 (Specification)
| MAXIMUM INLET PRESSURE | 3500 psig |
|---|---|
| OUTLET OPTIONS | 1 ~ 250 psig (구간선정) |
| FLOW CAPACITY | Cv = 0.06 (Standard), Cv = 0.3 (Optional) |
| DESIGN PROOF PRESSURE | 150% of maximum rated pressure |
| INBOARD LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec He |
| SUPPLY PRESSURE EFFECT | 0.6 psig per 100 psig |
| INTERNAL SURFACE FINISH | 10Ra (0.25 μm) E.P. Standard / 5Ra (0.13 μm) E.P. Optional |
| OPERATING TEMPERATURE | PCTFE: -40 ~ 71 ℃ / PTFE: -73 ~ 71 ℃ / Vespel: -40 ~ 260 ℃ |
| BODY MATERIAL | 316L Stainless Steel with Electropolish |
| DIAPHRAGM MATERIAL | 316L Stainless Steel or Hastelloy C-22 |
| SEAT MATERIAL | PCTFE, PTFE, Vespel |
| POPPET / PLUG / SCREEN | 316L Stainless Steel |
| POPPET SPRING | Inconel |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
상세 정보
적용 산업 / 분야
반도체 및 디스플레이
첨단 소자 공정
특수 가스 정밀 분석 및 실험 장비
고청정 배관 유틸리티 시스템
제품 상담 / 문의
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