제품 소개
반도체 산업 표준
반도체 산업을 비롯한 다양한 가스 제어 시스템에서 널리 사용되는 신뢰성 높은 디지털 질량 유량 제어기(MFC)입니다.
안정적인 유량제어
바디(Body), PCB 제어 밸브의 최적화 설계를 통해 가스 압력을 지속적으로 재조정하며 안정적인 유량을 제공합니다.
주요 특징
저유량 고정밀성 (Accurate at Low Flow)
저유량 영역에서도 정확한 측정 및 제어가 가능합니다.
콤팩트 연결 및 모듈형 디자인 (Compact Connection & Modular Design)
공간 활용도가 높고 유지보수가 편리한 모듈러 설계를 채택했습니다.
고내식성 및 장기 안정성 (High Corrosion Resistance & Long-Term Stability)
뛰어난 내식성과 우수한 장기 안정성을 제공하여 까다로운 산업 환경에 적합합니다.
광범위 압력 대응 및 선형성
넓은 압력 범위 대응이 가능하며 뛰어난 Linearity를 보여줍니다.
사양 (Specification)
| FLOW RANGE | 300 ~ 1000 SLPM |
|---|---|
| ACCURACY | ±0.25% OF F.S |
| REPEATABILITY | ±0.25% |
| SUPPLY POWER | +15 Vdc or +24 Vdc, 350 mA |
| IN/OUT SIGNAL | 0 ~ 5VDC OR 4 ~ 20 mA |
| MAX OPERATING TEMPERATURE | 0 ~ 50 ℃ |
| MAX OPERATING PRESSURE | < 15 barG |
| CONTROL RANGE | 3 ~ 100% |
| LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec |
| COMMUNICATION | RS-485 (Baud rate: 38400 bps) |
| ELECTRICAL CONNECTION | 15 Pin D-Connector |
| RESPONSE TIME | Less than 3 seconds response to within 3% of Full Scale |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
적용 산업 / 분야
반도체 산업
일반 산업
연구/분석
2차 전지 산업
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