제품 소개
저유량용 DIGITAL MFC
0.01 SLPM의 미세 유량부터 최대 30 SLPM까지 제어할 수 있습니다. RS-485 통신 기능을 기본 지원하여 보다 정밀하고 스마트한 유량 모니터링 및 제어가 가능합니다.
반도체/디스플레이 산업
증착, 에칭 공정 등 디지털 통신(RS-485) 기반의 정밀한 미세 가스 제어 설비에 적합합니다.
주요 특징
뛰어난 응답성과 정밀도
Full Scale 3% 이내 도달에 3초 이하의 빠른 응답성(Fast response)을 자랑하며, ±0.25%의 우수한 정확도(Accuracy)와 반복성(Repeatability)으로 신뢰성을 극대화했습니다.
우수한 내식성 및 호환성
강한 내부식성(High Corrosion Resistance) 재질과 교체 가능한 안정적인 센서(Removable Highly Stable Sensor)를 채택했으며, 디지털(RS-485) 및 아날로그(0~5Vdc, 4~20mA) 입출력 신호를 모두 지원해 다양한 시스템과 쉽게 연동됩니다.
사양 (Specification)
| 유량 범위 (Standard Ranges) | 0.01 ~ 30 SLPM (N₂ Base) |
|---|---|
| 정확도 (Accuracy) | ±0.25% of F.S |
| 반복성 (Repeatability) | ±0.25% |
| 제어 범위 (Control Range) | 3 ~ 100% |
| 응답 시간 (Response Time) | 3초 이하 (Full Scale 3% 이내 기준) |
| 최대 작동 압력 (Max Operating Pressure) | < 90 barG |
| 작동 온도 (Max Operating Temperature) | 0 ~ 50°C |
| 통신 방식 (Communication) | RS-485 (Baud rate: 38400bps) |
| 입출력 신호 (In/Out Signal) | 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA |
| 전원 공급 (Supply Power) | +15Vdc or +24Vdc, 350 mA |
| 전기 연결 (Electrical Connection) | 15 Pin D-Connector |
| 연결 방식 (Connection) | 1/8" SW, 1/4" SW, 3/8" SW, 1/4" VCR |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
적용 산업 / 분야
반도체 공정 및 자동화 설비
바이오/제약 산업
연구/분석실
자료 다운로드
제품 상담 / 문의
MD30C 제품 문의
전문 엔지니어가 1영업일 내에 답변드립니다.