제품 소개
Line Tech 사의 질량 유량 제어기 (MFC)
가스의 유량을 정확하게 측정하고 제어하도록 설계되었으며, 반도체 산업 및 다양한 가스 제어 시스템에서 폭넓게 사용됩니다.
안정적인 유량 및 압력 제어
바디(Body), PCB 제어 밸브의최적화 설계를 통해 가스 압력을 지속적으로 재조정하며 안정적인 유량을 제공합니다.
주요 특징
우수한 장기 안정성과 내식성
내식성이 뛰어나고, 교체 가능한 고안정성 센서(Removable Highly Stable Sensor)를 채택하여 오랫동안 우수한 선형성(Linearity)을 유지합니다.
넓은 압력 범위와 빠른 응답성 (Fast Response)
폭넓은 압력 조건에서 사용이 가능하며, 3초 이내에 Full Scale의 3% 이내로 진입하는 빠른 응답 속도를 자랑합니다.
사양 (Specification)
| 유량 범위 (Standard Ranges) | 30 ~ 100 SLPM |
|---|---|
| 정확도 (Accuracy) | ±1.0% |
| 반복성 (Repeatability) | ±0.25% |
| 제어 범위 (Control Range) | 3 ~ 100% |
| 응답 시간 (Response Time) | 3초 이하 (Full Scale 3% 이내 기준) |
| 최대 작동 압력 (Max Pressure) | < 100 barG |
| 작동 온도 (Operating Temp) | 0 ~ 50°C |
| 입출력 신호 (In/Out Signal) | 0 ~ 5 Vdc 또는 4 ~ 20 mA |
| 전원 공급 (Supply Power) | +15 Vdc 또는 +24 Vdc, 350 mA |
| 전기 연결 (Electrical Connection) | 9 Pin D-Connector |
| 연결 방식 (Connection) | 1/4" SW, 3/8" SW, 1/4" VCR |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
적용 산업 / 분야
반도체 산업 가스 제어 시스템
일반 산업용 가스 유량 제어 설비
대유량(Max 100 SLPM) 정밀 제어 공정
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