제품 소개
Line Tech 사의 스탠다드 MFC
반도체 공정 및 다양한 산업군에 적용 가능한 제품
뛰어난 안정성과 응답성
센서, PCB, 제어 밸브의 최적화 설계로 압력 변동 속에서도 안정적이고 정밀한 유량 제어 구현
주요 특징
저유량 정밀 제어 및 우수한 선형성
아주 적은 양의 가스 흐름도 오차 없이 세밀하게 제어합니다.
내식성 및 장기 안정성 확보
부식에 강한 재질과 교체 가능한 고성능 센서를 사용해 장기간 잔고장 없이 사용할 수 있습니다.
빠른 응답 속도 및 모듈형 디자인
Full Scale 3% 이내 제어 응답 시간 3초 이하 구현 및 모듈식 설계로 유지보수 용이
사양 (Specification)
| 유량범위 (N₂ 기준) | 0.01 ~ 30 SLPM |
|---|---|
| 정확도 (Accuracy) | ±1.0% F.S. |
| 반복성 (Repeatability) | ±0.25% |
| 제어 범위 (Control Range) | 3 ~ 100% |
| 응답 시간 (Response Time) | 3초 이하 (Full Scale의 3% 이내 진입 기준) |
| 누설율 (Leak Rate) | 1 × 10⁻⁹ atm·cc/sec 이하 |
| 최대 작동 압력 | < 90 barG |
| 허용 작동 온도 | 0 ~ 50°C |
| 입출력 신호 (In/Out Signal) | 0 ~ 5 Vdc 또는 4 ~ 20 mA |
| 전원 공급 (Supply Power) | +15 Vdc 또는 +24 Vdc (350 mA) |
| 전기 연결 (Electrical Connection) | 15 Pin D-Connector |
| 연결 방식 (Fitting) | 1/8" SW, 1/4" SW, 3/8" SW, 1/4" VCR |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
적용 산업 / 분야
반도체 공정 및 장비
2차 전지 및 화학 공정
분석 장비 및 가스 혼합 시스템
실험실 및 연구소
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