제품 소개
Line Tech 사의 질량 유량 제어기 (MFC)
반도체 산업(Semiconductor industry)을 비롯한 다양한 가스 제어 시스템에서 폭넓게 사용되는 유량 제어 솔루션입니다.
안정적인 유량제어
바디(Body), PCB 제어 밸브의 최적화 설계를 통해 가스 압력을 지속적으로 재조정하며 안정적인 유량을 제공합니다.
주요 특징
우수한 장기 안정성과 내식성 (High Corrosion Resistance)
내식성이 뛰어나며(High Corrosion Resistance), 교체 가능한 고안정성 센서(Removable Highly Stable Sensor)를 채택하여 오랫동안 훌륭한 선형성(Excellent Linearity)을 유지합니다.
넓은 압력 범위와 빠른 응답성 (Fast response)
폭넓은 압력 조건(Wide Pressure Range Available)에서 사용이 가능하며, 3초 이내에 Full Scale의 3% 이내로 진입하는 빠른 응답 속도를 자랑합니다.
사양 (Specification)
| 유량 범위 (Standard Ranges) | 25 ~ 130 slpm |
|---|---|
| 정확도 (Accuracy) | ±1% |
| 반복성 (Repeatability) | ±0.25% |
| 제어 범위 (Control Range) | 3 ~ 100% |
| 응답 시간 (Response Time) | 3초 이하 (Full Scale 3% 이내 기준) |
| 최대 작동 압력 (Max Operating Pressure) | < 100 barG |
| 작동 온도 (Max Operating Temperature) | 0 ~ 50°C |
| 입출력 신호 (In/Out Signal) | 0 ~ 5Vdc |
| 전원 공급 (Supply Power) | +15Vdc or +24Vdc, 350 mA |
| 전기 연결 (Electrical Connection) | 9 Pin, 15 Pin D-Connector |
| 연결 방식 (Connection) | 1/4"SW, 3/8"SW, 1/4"VCR |
※ 상기 사양은 예시이며, 실제 납품 사양은 고객 요구사항에 따라 변경될 수 있습니다.
적용 산업 / 분야
반도체 산업
일반 산업
자료 다운로드
제품 상담 / 문의
MS3150V 제품 문의
전문 엔지니어가 1영업일 내에 답변드립니다.