# FR1 SERIES

- 분류: 초고순도용
- 태그: 가스 공급, 압력 제어, 가스 조정기 판넬, 레귤레이터
- 요약: 라인용 초고순도 가스 레귤레이터
- 상세 페이지: https://gasflow.co.kr/solutions/cmsh27kr50038euql4r6ejxe0
- 상담 신청: https://gasflow.co.kr/solutions/cmsh27kr50038euql4r6ejxe0#contact

## 핵심 사양

- 콤팩트 바디: 가스 라인에 최적화된 초소형 설계
- 특허받은 무나사 구조: 오염물 누적 방지를 위해 내부 나사산을 완전히 배제한 초고순도 안전 구조

## 제품 소개

### 콤팩트 사이즈 초고순도 레귤레이터

바디 지름 32mm의 초소형 크기로 고안되어 공간 제약이 있는 Process 라인, Bulk Gas 라인, Hook-up 라인 및 각종 Utility 라인에 최적화된 레귤레이터

### Cv 0.3 고유량 옵션 지원

최대 Cv 0.3 고유량 옵션을 채용하여 1/2" Size 배관 라인까지 폭넓게 적용 가능

## 주요 특징

### 다양한 접속 규격 대응 (FACE SEAL / TUBE STUB)

Face Seal, Tube Stub, Compression Type 등 다양한 연결 방식을 지원하여 배관에 손쉽게 설치 가능

### 내장형 스크린 필터 적용

내장된 스크린 필터(Screen Filter)가 시트를 보호하여 긴 사용 수명을 보장

## 사양 (Specification)

| 항목 | 내용 |
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| MAXIMUM INLET PRESSURE | 3500 psig |
| OUTLET OPTIONS | 1 ~ 250 psig (구간선정) |
| FLOW CAPACITY | Cv = 0.06 (Standard), Cv = 0.3 (Optional) |
| DESIGN PROOF PRESSURE | 150% of maximum rated pressure |
| INBOARD LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec He |
| SUPPLY PRESSURE EFFECT | 0.6 psig per 100 psig |
| INTERNAL SURFACE FINISH | 10Ra (0.25 μm) E.P. Standard / 5Ra (0.13 μm) E.P. Optional |
| OPERATING TEMPERATURE | PCTFE: -40 ~ 71 ℃ / PTFE: -73 ~ 71 ℃ / Vespel: -40 ~ 260 ℃ |
| BODY MATERIAL | 316L Stainless Steel with Electropolish |
| DIAPHRAGM MATERIAL | 316L Stainless Steel or Hastelloy C-22 |
| SEAT MATERIAL | PCTFE, PTFE, Vespel |
| POPPET / PLUG / SCREEN | 316L Stainless Steel |
| POPPET SPRING | Inconel |

## 적용 산업 / 분야

반도체 및 디스플레이, 첨단 소자 공정, 특수 가스 정밀 분석 및 실험 장비, 고청정 배관 유틸리티 시스템

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