# FR4 SERIES

- 분류: 초고순도용
- 태그: 가스 공급, 압력 제어, 가스 조정기 판넬, 레귤레이터
- 요약: 고압 고유량 초고순도 가스 레귤레이터
- 상세 페이지: https://gasflow.co.kr/solutions/cmsh1qjg00036euqlv7fhnfh9
- 상담 신청: https://gasflow.co.kr/solutions/cmsh1qjg00036euqlv7fhnfh9#contact

## 핵심 사양

- 고압 & 고유량 대응: 최대 입력 압력 3500 psig 및 Cv 1.0, Cv 2.2 고유량
- 특허받은 무나사 구조: 내부 나사산 배제 및 타이드 다이아프램을 적용한 초고순도 안전 설계

## 제품 소개

### 고압·고유량 초고순도 레귤레이터

고압 시스템 배관 라인에서 대유량이 요구되는 조건에 최적화된 초고순도 가스 레귤레이터

### Cv 1.0 및 Cv 2.2 고유량 옵션

기본 Cv 1.0 사양과 함께 옵션으로 Cv 2.2까지 선택할 수 있어 기존 고압 1/2", 3/4" Size 배관의 고유량 대응

## 주요 특징

### 타이드 다이아프램 기술 적용

포펫과 다이아프램을 고정하는 Tied Type 구조를 채택하여 정밀한 압력 제어와 높은 안전성 제공

### 국제 특허 내부 구조 적용

세계 유일의 독보적인 내부 구조 국제특허 기술을 적용하여 유체 노출부에 나사 트랩 및 추가 가공 홀을 배제했으며, 오염물 누적 방지 및 퍼지(Purge) 작업의 효율성 극대화

## 사양 (Specification)

| 항목 | 내용 |
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| MAXIMUM INLET PRESSURE | 3500 psig / 2400 psig |
| OUTLET OPTIONS | 1 ~ 250 psig (구간선정) |
| FLOW CAPACITY | Cv = 1.0 (Standard), Cv = 2.2 (Optional) |
| DESIGN PROOF PRESSURE | 150% of maximum rated pressure |
| INBOARD LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec He |
| INTERNAL SURFACE FINISH | 10Ra (0.25 μm) E.P. Standard / 10Ra B.A., 5Ra (0.13 μm) E.P. Optional |
| OPERATING TEMPERATURE | PCTFE: -40 ~ 71 ℃ / PTFE: -73 ~ 71 ℃ / Vespel: -40 ~ 260 ℃ |
| BODY MATERIAL | 316L Stainless Steel (E.P. Standard) |
| DIAPHRAGM MATERIAL | 316L Stainless Steel or Hastelloy C-22 |
| SEAT MATERIAL | PCTFE, PTFE, Vespel |
| POPPET / PLUG | 316L Stainless Steel |
| POPPET SPRING | Inconel |

## 적용 산업 / 분야

반도체 및 디스플레이, 특수 가스 대용량 공급 장치, 태양광 및 석유화학 정밀 가스 라인, 고청정 대형 연구 장비 및 실증 설비

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FLOSYS · 대표번호 032-235-9540