# FR3 SERIES

- 분류: 초고순도용
- 태그: 가스 공급, 압력 제어, 가스 조정기 판넬, 레귤레이터
- 요약: 초고순도 가스용 레귤레이터
- 상세 페이지: https://gasflow.co.kr/solutions/cmsh0n3js0034euqli6w56a06
- 상담 신청: https://gasflow.co.kr/solutions/cmsh0n3js0034euqli6w56a06#contact

## 핵심 사양

- 무스프링 & 무나사 구조: 초고순도 공정을 위해 접액부 내부의 스프링과 나사산을 완벽히 배제한 설계
- TIED DIAPHRAGM 적용: 안전성과 정밀 제어 성능을 극대화한 TIED DIAPHRAGM 구조

## 제품 소개

### 초고순도 무스프링 가스 레귤레이터

유체가 흐르는 접액부 내부에 스프링과 나사 트랩을 완전히 배제하여 미세 파티클 오염 가능성을 원천 차단한 초고순도 가스 레귤레이터

### TIED DIAPHRAGM 구조

포펫과 다이아프램을 고정하는 Tied Type 구조를 적용하여 포펫의 시트 끼임 현상을 방지하고 정밀한 압력 제어 및 높은 안전성 제공

## 주요 특징

### 국제 특허 독점 내부 기술

세계 유일의 독보적인 내부 구조 국제특허 기술을 구현하여 유체 노출부에 나사 트랩 및 추가 가공 홀이 없습니다. 오염물 누적을 방지하고 Purge 작업 효율성 극대화

### 초고순도 공정 및 장비 최적화

반도체 Gas Cabinet, Gas Jungle Box, 반도체 장비, 특수 가스 라인 및 고청정 연구실 등 엄격한 적용 요건 만족

### 고품질 전해연마 표면 처리

내부 표면 Ra 10 (E.P. 기본) 및 Ra 5 (E.P. 옵션)의 최고 수준 전해연마 처리

## 사양 (Specification)

| 항목 | 내용 |
| --- | --- |
| MAXIMUM INLET PRESSURE | 3500 psig / 240 bar |
| OUTLET OPTIONS | 1 ~ 250 psig (구간선정) |
| FLOW CAPACITY | Cv = 0.06 (Standard), Cv = 0.4 (Optional) |
| DESIGN PROOF PRESSURE | 150% of maximum rated pressure |
| INBOARD LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec He |
| SUPPLY PRESSURE EFFECT | 0.6 psig per 100 psig |
| INTERNAL SURFACE FINISH | 10Ra (0.25 μm) E.P. Standard / 5Ra (0.13 μm) E.P. Optional |
| OPERATING TEMPERATURE | PCTFE: -40 ~ 71 ℃ / PTFE: -73 ~ 71 ℃ / Vespel: -40 ~ 260 ℃ |
| BODY MATERIAL | 316L Stainless Steel with Electropolish |
| DIAPHRAGM MATERIAL | 316L Stainless Steel or Hastelloy C-22 |
| SEAT MATERIAL | PCTFE, PTFE, Vespel |
| POPPET / PLUG | 316L Stainless Steel |
| BONNET / STEM | 316L Stainless Steel |

## 적용 산업 / 분야

반도체 및 디스플레이, 특수 가스 제조 및 배관, 고청정 연구실 및 분석 기관, 태양광 및 첨단 전자소자 공정

---
FLOSYS · 대표번호 032-235-9540