# MD500C

- 분류: Digital MFC/ MFM
- 태그: 가스 혼합, 유량 제어, MFC, 유량계
- 요약: DIGITAL MFC
- 상세 페이지: https://gasflow.co.kr/solutions/cmsfgf9r80000euql27ofhhde
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## 핵심 사양

- 고정밀 제어: ±0.25% F.S의 우수한 정확도 및 반복성
- 빠른 응답 속도: 3초 이내의 고속 응답 성능 구현
- FLOW RANGE: 300 ~ 1000 SLPM (N2 Base)
- COMMUNICATION: RS-485 (Baud rate: 38400bps)

## 제품 소개

### 반도체 산업 표준

반도체 산업을 비롯한 다양한 가스 제어 시스템에서 널리 사용되는 신뢰성 높은 디지털 질량 유량 제어기(MFC)입니다.

### 안정적인 유량제어

바디(Body), PCB 제어 밸브의 최적화 설계를 통해 가스 압력을 지속적으로 재조정하며 안정적인 유량을 제공합니다.

## 주요 특징

### 저유량 고정밀성 (Accurate at Low Flow)

저유량 영역에서도 정확한 측정 및 제어가 가능합니다.

### 콤팩트 연결 및 모듈형 디자인 (Compact Connection & Modular Design)

공간 활용도가 높고 유지보수가 편리한 모듈러 설계를 채택했습니다.

### 고내식성 및 장기 안정성 (High Corrosion Resistance & Long-Term Stability)

뛰어난 내식성과 우수한 장기 안정성을 제공하여 까다로운 산업 환경에 적합합니다.

### 광범위 압력 대응 및 선형성

넓은 압력 범위 대응이 가능하며 뛰어난 Linearity를 보여줍니다.

## 사양 (Specification)

| 항목 | 내용 |
| --- | --- |
| FLOW RANGE | 300 ~ 1000 SLPM |
| ACCURACY | ±0.25% OF F.S   |
| REPEATABILITY | ±0.25% |
| SUPPLY POWER | +15 Vdc or +24 Vdc, 350 mA |
| IN/OUT SIGNAL | 0 ~ 5VDC OR 4 ~ 20 mA |
| MAX OPERATING TEMPERATURE | 0 ~ 50 ℃ |
| MAX OPERATING PRESSURE | < 15 barG |
| CONTROL RANGE | 3 ~ 100% |
| LEAK RATE | 1 x 10^-9 atm.cc/sec |
| COMMUNICATION | RS-485 (Baud rate: 38400 bps) |
| ELECTRICAL CONNECTION | 15 Pin D-Connector |
| RESPONSE TIME | Less than 3 seconds response to within 3% of Full Scale |

## 적용 산업 / 분야

반도체 산업, 일반 산업, 연구/분석, 2차 전지 산업

## 자료 다운로드

- [MD500C 카다로그](https://gasflow.co.kr/uploads/files/file-7ab47647cca4.pdf) (PDF)

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