# MD30C

- 분류: Digital MFC/ MFM
- 태그: 가스 혼합, 유량 제어, MFC, 유량계
- 요약: DIGITAL MFC
- 상세 페이지: https://gasflow.co.kr/solutions/cmse7gngn001q5uqlcxyzqvy9
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## 핵심 사양

- FLOW RANGE: 0.01 ~ 30 SLPM (N₂ Base)
- 통신 방식 (Communication): RS-485 (Baud rate: 38400bps)

## 제품 소개

### 저유량용 DIGITAL MFC

0.01 SLPM의 미세 유량부터 최대 30 SLPM까지 제어할 수 있습니다.
RS-485 통신 기능을 기본 지원하여 보다 정밀하고 스마트한 유량 모니터링 및 제어가 가능합니다.

### 반도체/디스플레이 산업

증착, 에칭 공정 등 디지털 통신(RS-485) 기반의 정밀한 미세 가스 제어 설비에 적합합니다.

## 주요 특징

### 뛰어난 응답성과 정밀도

Full Scale 3% 이내 도달에 3초 이하의 빠른 응답성(Fast response)을 자랑하며, ±0.25%의 우수한 정확도(Accuracy)와 반복성(Repeatability)으로 신뢰성을 극대화했습니다.  

### 우수한 내식성 및 호환성

강한 내부식성(High Corrosion Resistance) 재질과 교체 가능한 안정적인 센서(Removable Highly Stable Sensor)를 채택했으며, 디지털(RS-485) 및 아날로그(0~5Vdc, 4~20mA) 입출력 신호를 모두 지원해 다양한 시스템과 쉽게 연동됩니다. 

## 사양 (Specification)

| 항목 | 내용 |
| --- | --- |
| 유량 범위 (Standard Ranges) | 0.01 ~ 30 SLPM (N₂ Base) |
| 정확도 (Accuracy) | ±0.25% of F.S |
| 반복성 (Repeatability) | ±0.25% |
| 제어 범위 (Control Range) | 3 ~ 100% |
| 응답 시간 (Response Time) | 3초 이하 (Full Scale 3% 이내 기준) |
| 최대 작동 압력 (Max Operating Pressure) | < 90 barG |
| 작동 온도 (Max Operating Temperature) | 0 ~ 50°C |
| 통신 방식 (Communication) | RS-485 (Baud rate: 38400bps) |
| 입출력 신호 (In/Out Signal) | 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA |
| 전원 공급 (Supply Power) | +15Vdc or +24Vdc, 350 mA |
| 전기 연결 (Electrical Connection) | 15 Pin D-Connector |
| 연결 방식 (Connection) | 1/8" SW, 1/4" SW, 3/8" SW, 1/4" VCR |

## 적용 산업 / 분야

반도체 공정 및 자동화 설비, 바이오/제약 산업, 연구/분석실

## 자료 다운로드

- [MD30C 카다로그](https://gasflow.co.kr/uploads/files/file-6378c54c6ec6.pdf) (PDF)

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