# MS3150V

- 분류: Analog MFC / MFM
- 태그: 가스 혼합, 유량 제어, MFC, 유량계
- 요약: ANALOG MFC
- 상세 페이지: https://gasflow.co.kr/solutions/cmse6qz1l001g5uqlzn385f9q
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## 핵심 사양

- FLOW RANGE: 25 ~ 130SLPM
- IN/OUT SIGNAL: 0 ~ 5Vdc

## 제품 소개

### Line Tech 사의 질량 유량 제어기 (MFC)

반도체 산업(Semiconductor industry)을 비롯한 다양한 가스 제어 시스템에서 폭넓게 사용되는 유량 제어 솔루션입니다.

### 안정적인 유량제어

바디(Body), PCB 제어 밸브의 최적화 설계를 통해 가스 압력을 지속적으로 재조정하며 안정적인 유량을 제공합니다. 

## 주요 특징

### 우수한 장기 안정성과 내식성 (High Corrosion Resistance)

내식성이 뛰어나며(High Corrosion Resistance), 교체 가능한 고안정성 센서(Removable Highly Stable Sensor)를 채택하여 오랫동안 훌륭한 선형성(Excellent Linearity)을 유지합니다.

### 넓은 압력 범위와 빠른 응답성 (Fast response)

폭넓은 압력 조건(Wide Pressure Range Available)에서 사용이 가능하며, 3초 이내에 Full Scale의 3% 이내로 진입하는 빠른 응답 속도를 자랑합니다.

## 사양 (Specification)

| 항목 | 내용 |
| --- | --- |
| 유량 범위 (Standard Ranges) | 25 ~ 130 slpm |
| 정확도 (Accuracy) | ±1% |
| 반복성 (Repeatability) | ±0.25% |
| 제어 범위 (Control Range) | 3 ~ 100% |
| 응답 시간 (Response Time) | 3초 이하 (Full Scale 3% 이내 기준) |
| 최대 작동 압력 (Max Operating Pressure) | < 100 barG |
| 작동 온도 (Max Operating Temperature) | 0 ~ 50°C |
| 입출력 신호 (In/Out Signal) | 0 ~ 5Vdc |
| 전원 공급 (Supply Power) | +15Vdc or +24Vdc, 350 mA |
| 전기 연결 (Electrical Connection) | 9 Pin, 15 Pin D-Connector |
| 연결 방식 (Connection) | 1/4"SW, 3/8"SW, 1/4"VCR |

## 적용 산업 / 분야

반도체 산업, 일반 산업

## 자료 다운로드

- [MS3150 카다로그](https://gasflow.co.kr/uploads/files/file-1ee140939ef1.pdf) (PDF)

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