# MFC 3660

- 분류: Analog MFC / MFM
- 태그: 가스 공급, 유량 제어, MFC, 유량계
- 요약: ANALOG MFC 3660
- 상세 페이지: https://gasflow.co.kr/solutions/cmqknclyd0005a7qlm39u35sm
- 상담 신청: https://gasflow.co.kr/solutions/cmqknclyd0005a7qlm39u35sm#contact

## 제품 소개

### KOFLOC 사의 스탠다드 제품

높은 범용성으로 다양한 산업군 사용 가능

### 폭 넓은 가스 대응

불활성, 가연성, 독 · 부식성 사용 가능 (Option)

## 주요 특징

### 가연성 가스 유량 제어 가능

H2, CH4 등 가연성 가스 사용 가능

### 간단한 설치

연결부 1/4"Lok Type으로 간단하게 체결 가능  

## 사양 (Specification)

| 항목 | 내용 |
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| 유량범위 (N2 기준) | 10 SCCM~20 SLM  (조건 선택 가능) |
| 센서 | Thermal mass flow sensor |
| 밸브 타입 | 비례 솔레노이드밸브 |
| 제어 범위 | 2~100% (F.S.) |
| 반응 | 2초 이하(0~100%이내  평균 ±2%) |
| 정확도 | ±1.0% F.S. (25°C) |
| 온도 계수 | ±0.1 F.S./°C (15–35°C) |
| 반복성 | ±0.2%F.S. |
| 작동 차압 | F.S. ≤ 5 SLM: 50~300 kPa (G) |
| 허용 작동 압력 | 500 kPa (G) 이하 |
| 보증 압력 | 980 kPa (G) |
| 허용 주위 온도 | 5~45°C |
| 가스  접촉부분 재질 | Body: SUS316 / Valve seat: FKM / Sealing: FKM |
| 전기 연결 | KFC 표준에 따른 Dsub 9-pin 커넥터(SEMI 표준 준수) |
| 입출력 신호 | 0~5 VDC |
| 전원 공급 | +15 VDC (±5%) 100 mA, -15 VDC (±5%) 250 mA |

## 적용 산업 / 분야

반도체 산업, 2차 전지, 바이오, 분석, 실험 및 연구

## 자료 다운로드

- [3660](https://gasflow.co.kr/uploads/files/file-58672f986405.pdf) (PDF)

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