[FR3_FCR 라인용]
- 초고순도 용 (반도체 / 고 청정시험 연구실)
- 가스가 흐르는 내부에 스프링과 나사트랩을 배제하여 오염 가능성 원천차단
- Inlet Pressure : 0~250, 400, 3000, 3500 psig
- Outlet Pressure : 1~30, 60, 100, 150, 250 psig
본문
[FR3_FCR 라인용]
- 초고순도 용 (반도체 / 고 청정시험 연구실)
- 가스가 흐르는 내부에 스프링과 나사트랩을 배제하여 오염 가능성 원천차단
- Inlet Pressure : 0~250, 400, 3000, 3500 psig
- Outlet Pressure : 1~30, 60, 100, 150, 250 psig